申请/专利权人:江苏弘扬石英制品有限公司
申请日:2024-01-09
公开(公告)日:2024-04-05
公开(公告)号:CN117825755A
主分类号:G01Q60/24
分类号:G01Q60/24
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.04.23#实质审查的生效;2024.04.05#公开
摘要:本发明适用于检测设备技术领域,尤其涉及一种石英圆环片表面光洁度的快速检测装置,所述装置包括:底座,底座上安装有原子力显微设备和图像处理设备,包括显微探头和第一图像采集装置,底座上安装有两组支架,支架上安装有第二伸缩缸,所述第二伸缩缸端部安装有两组定位杆;工件控制机构,所述工件控制机构包括第二图像采集装置,工件控制机构用于识别工件的位置,并控制工件进行转动和移动,配合原子力显微设备和图像处理设备完成光洁度检测。本发明能够自动完成对石英圆环片的自动定位,通过控制石英圆环片进行转动移动,使得显微探头和第一图像采集装置能够对石英圆环片进行螺旋式检测,大大提高了采样效果,提高了检测效率。
主权项:1.一种石英圆环片表面光洁度的快速检测装置,其特征在于,所述装置包括:底座(1),所述底座(1)上安装有原子力显微设备(2)和图像处理设备(3),所述原子力显微设备(2)包括显微探头(4),所述图像处理设备(3)包括第一图像采集装置(5),所述底座(1)上安装有两组支架(6),所述支架(6)上安装有第二伸缩缸(10),所述第二伸缩缸(10)端部安装有两组定位杆(13);工件控制机构,所述工件控制机构包括第二图像采集装置(12),工件控制机构用于识别工件的位置,并控制工件进行转动和移动,配合原子力显微设备(2)和图像处理设备(3)完成光洁度检测。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 江苏弘扬石英制品有限公司 一种石英圆环片表面光洁度的快速检测装置
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