申请/专利权人：苏州艾默特材料技术有限公司

申请日：2023-12-25

公开（公告）日：2024-04-05

公开（公告）号：CN117821905A

主分类号：C23C14/24

分类号：C23C14/24;C23C16/32;C23C16/44

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.23#实质审查的生效;2024.04.05#公开

摘要：本发明公开了一种碳化钽包覆钽加热丝以及蒸发源及其制备方法，包括以下步骤：步骤一：形状加工；步骤二：连接固定操作；步骤三：支撑操作；步骤四：加热操作；步骤五：气体通入操作；步骤六：冷却操作。本发明的有益效果是，本技术制备的TaC包覆钽的加热丝，是通过在钽丝表面形成碳化钽陶瓷层；该碳化钽陶瓷层能够避免钽丝因高温软化导致的弯曲变形，进而提高加热丝使用过程中加热丝的结构稳定性，极大的提高了点源的寿命和热场的稳定性，此外，本技术方案的碳化钽陶瓷包覆层能够减少钽的挥发，进而避免加热丝与绝缘材料因挥发的钽导致的绝缘失效。

主权项：1.一种碳化钽包覆钽加热丝的蒸发源，其特征在于，包括蒸发源主体，所述蒸发源主体上设置有电源正极、电源负极，钽加热丝的两个电极分别与电源正极、电源负极连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州艾默特材料技术有限公司 一种碳化钽包覆钽加热丝以及蒸发源及其制备方法

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