申请/专利权人：浙江睿熙科技有限公司

申请日：2023-12-29

公开（公告）日：2024-04-05

公开（公告）号：CN117833021A

主分类号：H01S5/183

分类号：H01S5/183

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.23#实质审查的生效;2024.04.05#公开

摘要：公开了一种VCSEL激光器及其制造方法。所述VCSEL激光器包括：外延结构、第一电极和第二电极。所述第一电极和所述第二电极连接于所述外延结构。所述外延结构包括：衬底层、离子注入阻挡层和外延主体结构。所述离子注入阻挡层形成于所述衬底层和所述外延主体结构之间，以阻挡电流从所述外延主体结构流向所述衬底层所述外延主体结构叠置于所述离子注入阻挡层上，所述外延主体结构包括底部DBR层、顶部DBR层、有源区和限制层，所述有源区和所述限制层位于所述底部DBR层和所述顶部DBR层之间。

主权项：1.一种VCSEL激光器，其特征在于，包括：外延结构，所述外延结构包括：衬底层；外延主体结构；所述外延主体结构叠置于所述离子注入阻挡层上，所述外延主体结构包括底部DBR层、顶部DBR层、有源区和限制层，所述有源区和所述限制层位于所述底部DBR层和所述顶部DBR层之间；以及离子注入阻挡层；所述离子注入阻挡层形成于所述衬底层和所述外延主体结构之间，以阻挡电流从所述外延主体结构流向所述衬底层；第一电极，所述第一电极连接于所述外延结构；以及第二电极，所述第二电极连接于所述外延结构。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 浙江睿熙科技有限公司 VCSEL激光器及其制造方法

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