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【发明公布】一种透明硬脆材料表面疏水结构的加工方法_华侨大学_202410137371.8 

申请/专利权人:华侨大学

申请日:2024-01-31

公开(公告)日:2024-04-05

公开(公告)号:CN117817130A

主分类号:B23K26/362

分类号:B23K26/362;B23K26/70;B23K10/00;B23K26/064

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.04.23#实质审查的生效;2024.04.05#公开

摘要:本发明提供了一种透明硬脆材料表面疏水结构的加工方法通过激光光斑聚焦在透明硬脆材料下方的靶材表面,激光烧蚀靶材过程中产生高温高压的等离子体,在横向磁场约束下,等离子体向中心偏转,使得等离子体的体积变小,等离子体的密度和温度增加,因此施加横向磁场后,刻蚀区域周围溅射物的分布范围变小了,刻蚀宽度变窄了,刻蚀深度变深了;通过横向磁场辅助激光诱导等离子体在透明硬脆材料样品表面制作大面积周期性微结构。通过本方法在透明硬脆材料上加工出的微结构表面干净整齐,深宽比高,微结构内部能够存留足够的空气,从而增大了材料的接触角,形成了疏水表面。该方法具有经济效益好,加工效率高、加工质量好、工艺简单、环境友好等优势。

主权项:1.一种透明硬脆材料表面疏水结构的加工方法,其特征在于,包括靶材、透明硬脆材料、工作台和激光器,所述激光器设置在所述工作台上方,还包括以下步骤:步骤S1:将所述靶材置于所述工作台上,并将所述透明硬脆材料通过夹具安装设置在所述靶材上方,所述透明硬脆材料与所述靶材表面呈平行设置;步骤S2:在所述透明硬脆材料与所述靶材之间施加横向磁场;步骤S3:开启所述激光器预设数值并输出激光,让所述激光穿过所述透明硬脆材料聚焦于所述靶材上表面,诱导出高温高压的等离子体,通过所述等离子体对所述透明硬脆材料的下表面进行刻蚀加工,并利用计算机控制所述工作台使所述透明硬脆材料和所述靶材同时以相同的方式移动,从而在所述透明硬脆材料的下表面制备出大面积周期性微结构;步骤S4:将完成所述刻蚀加工后的所述透明硬脆材料进行清洗和干燥后,对所述透明硬脆材料表面进行接触角测量。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 华侨大学 一种透明硬脆材料表面疏水结构的加工方法

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