申请/专利权人：AIBIZ有限公司

申请日：2022-11-25

公开（公告）日：2024-04-05

公开（公告）号：CN117829209A

主分类号：G06N3/0455

分类号：G06N3/0455;G06N3/084;G06F17/10;G06F18/213;G06Q50/04

优先权：["20220927 KR 10-2022-0122558"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.23#实质审查的生效;2024.04.05#公开

摘要：本发明多种实施例公开工艺设备的非正常工作检测方法。上述方法可以包括如下步骤：获取工艺传感器数据及对应于上述工艺传感器数据的先验知识数据；利用深度学习模型来生成对应于上述工艺传感器数据的重构工艺传感器数据；基于上述工艺传感器数据及上述重构工艺传感器数据来计算重构率误差；以及基于比较上述重构率误差和基准阈值来检测非正常工作。

主权项：1.一种工艺设备的非正常工作检测方法，其在计算装置的一个或多个处理器上执行，其特征在于，上述工艺设备的非正常工作检测方法包括：获取工艺传感器数据及对应于上述工艺传感器数据的先验知识数据；利用深度学习模型来生成对应于上述工艺传感器数据的重构工艺传感器数据；基于上述工艺传感器数据及上述重构工艺传感器数据来计算重构率误差；以及基于比较上述重构率误差和基准阈值来检测非正常工作。

全文数据：

权利要求：

百度查询： AIBIZ有限公司 工艺设备的非正常工作检测方法、计算装置及计算机程序

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