申请/专利权人：本源量子计算科技(合肥)股份有限公司

申请日：2023-12-12

公开（公告）日：2024-04-05

公开（公告）号：CN117835802A

主分类号：H10N60/01

分类号：H10N60/01;H10N60/12;C23C14/04

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.23#实质审查的生效;2024.04.05#公开

摘要：本发明公开了一种约瑟夫森结及其制造方法。制造方法包括：在衬底上形成掩膜，掩膜具有露出衬底的窗口、第一沟道和第二沟道，第一沟道和第二沟道分别沿相互垂直的第一方向和第二方向延伸，且均连通窗口；沿第一方向进行倾斜镀膜，在窗口内形成第一超导板以及在第一沟道内形成连接第一超导板的第一超导线；在第一超导板表面形成势垒层；沿第二方向进行倾斜镀膜，在窗口内形成至少部分位于势垒层上的第二超导板以及在第二沟道内形成连接第二超导板的第二超导线。本发明能够消除沟道宽度对约瑟夫森结电阻的限制，特别适合制造小电阻的约瑟夫森结。

主权项：1.一种约瑟夫森结的制造方法，其特征在于，包括：在衬底上形成掩膜，所述掩膜具有露出所述衬底的窗口、第一沟道和第二沟道，所述第一沟道和所述第二沟道分别沿相互垂直的第一方向和第二方向延伸，且均连通所述窗口；沿所述第一方向进行倾斜镀膜，在所述窗口内形成第一超导板以及在所述第一沟道内形成连接所述第一超导板的第一超导线；在所述第一超导板表面形成势垒层；沿所述第二方向进行倾斜镀膜，在所述窗口内形成至少部分位于势垒层上的第二超导板以及在所述第二沟道内形成连接所述第二超导板的第二超导线。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 本源量子计算科技(合肥)股份有限公司 约瑟夫森结及其制造方法

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