申请/专利权人：四川三三零半导体有限公司

申请日：2019-10-30

公开（公告）日：2024-04-05

公开（公告）号：CN110684961B

主分类号：C23C16/44

分类号：C23C16/44;C30B29/04

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.05#授权;2020.02.11#实质审查的生效;2020.01.14#公开

摘要：本发明涉及MPCVD设备技术领域，具体是一种用于MPCVD的张紧装置，用于解决现有技术中不能及时的测量和调节MPCVD设备中连杆张紧力的问题。本发明包括反应腔体、波导腔体和连杆，所述连杆上还安装有位于波导腔体下方的张紧装置，所述张紧装置包括张紧组件、弹性元件、托盘、预紧件、张紧件和称重传感器，所述称重传感器与显示器电性连接。本发明中由于连杆的张紧力发生变化会导致弹性元件的预紧力发生变化，而通过张紧装置中的重力传感器可以随时的测量出弹性元件的预计力并显示在显示器上，所以通过显示器可以随时看到连杆张紧力的变化，从而可以及时的测量出连杆张紧力的变化，进而可以及时的对连杆的张紧力进行调整。

主权项：1.一种用于MPCVD的张紧装置，包括反应腔体4和波导腔体1，所述反应腔体4和波导腔体1被同一连杆2穿过，其特征在于：所述连杆2上还安装有位于波导腔体1下方的张紧装置7，所述张紧装置7包括安装在连杆2上的张紧组件，所述张紧组件内开有多个预紧室731，每个所述预紧室731内均安装有位于竖直方向上的弹性元件77，所述张紧组件的底面安装有托盘72，所述托盘72上安装有与弹性元件77一一对应的多个预紧件71，所述连杆2上还安装有位于托盘72底面的张紧件78，所述张紧组件的顶面安装有称重传感器75，所述称重传感器75与显示器电性连接；所述张紧组件包括张紧盘73和盖板74，所述盖板74安装在张紧盘73的顶面，所述张紧盘73安装在托盘72顶面，所述弹性元件77与盖板74的底面接触；所述称重传感器75套设在连杆2上，且称重传感器75通过压差机构测量波导腔体1内的压力；所述压差机构包括安装在连杆2顶面且位于反应腔体4内的平面板5，所述平面板5的底面设有压差腔61，所述压差腔61和波导腔体1通过连接环3连通。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 四川三三零半导体有限公司 一种用于MPCVD的张紧装置

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