申请/专利权人：应用材料公司

申请日：2018-09-19

公开（公告）日：2024-04-05

公开（公告）号：CN111164744B

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L21/683;H05H1/46

优先权：["20171016 US 62/572,938"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.05#授权;2020.06.09#实质审查的生效;2020.05.15#公开

摘要：本公开的实施方式提供了一种加热支撑底座，所述加热支撑底座包括：主体，所述主体包括陶瓷材料；支撑臂，所述支撑臂从耦接到轴的所述主体的周边径向向外延伸；以及真空导管，所述真空导管设置在所述轴内并穿过所述主体以与所述主体的表面连接。

主权项：1.一种加热支撑底座，包括：主体，所述主体包括陶瓷材料；离轴轴，所述离轴轴通过支撑臂耦接到所述主体；支撑组件，所述支撑组件固定在所述主体与所述离轴轴之间，所述支撑组件包括环形构件和附接至所述环形构件的桨形板并且通过环状间隔件耦接到所述主体，其中所述环状间隔件耦接到所述支撑组件的所述环形构件；陶瓷环，所述陶瓷环围绕所述环状间隔件的周边定位；以及真空导管，所述真空导管设置在所述轴内并穿过所述主体和所述支撑臂以在形成于所述支撑组件的中心中的真空通道处与所述支撑组件的表面连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 应用材料公司 呈双装载锁定配置的高温加热支撑底座

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