申请/专利权人：朗姆研究公司

申请日：2018-06-07

公开（公告）日：2024-04-05

公开（公告）号：CN110892500B

主分类号：H01J37/32

分类号：H01J37/32

优先权：["20170720 US 15/655,808"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.05#授权;2020.08.14#实质审查的生效;2020.03.17#公开

摘要：描述了用于调谐射频RF发生器的系统和方法。所述方法中的一个包括通过高频RF发生器向IMN提供高频RF信号。所述方法包括访问在高频RF发生器的输出端处测得的变量的多个测量值以产生参数。在低频RF发生器的多个工作周期期间测量变量。测量值与由高频RF发生器供应的多个功率值相关联。所述方法包括对于周期中的一个，确定使得由高频RF发生器输送的功率效率提高的高频RF发生器的频率的值和与IMN的分流电路相关联的因子的值。

主权项：1.一种用于控制射频RF发生器的控制器系统，其包括：处理器，其被配置为访问在高RF发生器的输出端处测得的变量的多个测量值以生成参数，其中，在低RF发生器的多个工作周期期间测量所述变量，其中所述多个测量值与由所述高RF发生器供应的功率的多个值相关联，其中，所述处理器被配置为基于所述参数和由所述高RF发生器供应的所述功率的所述多个值来确定使得所述高RF发生器输送的功率的效率提高的所述高RF发生器的频率的值和与阻抗匹配网络的电路相关联的因子的值；和存储器设备，其耦合到所述处理器，其中，所述存储器设备被配置为存储所述频率的值和所述因子的所述值。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 朗姆研究公司 在存在千赫兹射频发生器下提高兆赫兹射频发生器的输送功率的效率的系统和方法

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