申请/专利权人：法国原子能源和替代能源委员会

申请日：2018-12-21

公开（公告）日：2024-04-05

公开（公告）号：CN111566932B

主分类号：H03H3/02

分类号：H03H3/02;H03H9/17;H03H9/02;H10N30/072;H10N30/853

优先权：["20171226 FR 1763228"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.05#授权;2020.12.29#实质审查的生效;2020.08.21#公开

摘要：本发明涉及一种用于可调节的体声波谐振器的制造方法，可调节的体声波谐振器包括换能器叠层E1和调谐叠层E2。根据本发明，换能器叠层E1包括两个限定的电极4、6和压电材料2，并且叠层E2包括压电材料层8和两个限定的电极10、12。该方法包括：a制造换能器叠层；b在换能器叠层的电极6上形成电绝缘层；c在电绝缘层上形成调谐叠层的限定的电极10，使得其与换能器叠层的电极对准；d在电极10上组装压电材料衬底；e使压电材料衬底断裂；f形成调谐叠层的与限定的电极10对准的另一限定的电极12。

主权项：1.一种声谐振器的制造方法，所述声谐振器至少包括第一功能叠层和第二功能叠层，所述第一功能叠层包括至少一个第一元件，所述第一元件由插入在两个结构化的导电层之间的第一压电材料层或介电材料层构成，所述导电层的覆盖表面限定第一有源区，所述第二功能叠层包括至少一个第二元件，所述第二元件由插入在第一电极与第二电极之间的第二压电材料层构成，所述第一电极和所述第二电极的覆盖表面限定第二有源区，所述方法包括：-提供所述第一功能叠层，所述第一功能叠层包括所述第一压电材料层或介电材料层以及彼此相关联的两个结构化的导电层，所述导电层限定所述第一有源区，-在所述第一功能叠层上形成所述第二功能叠层的所述第一电极，以使所述第一电极与所述第一有源区对准，并且在所述第一电极上形成电绝缘材料第一结合层，-提供所述第二功能叠层的一部分，所述第二功能叠层的所述一部分包括至少一个电绝缘材料第二结合层和所述第二压电材料层，-通过使所述第一结合层与所述第二结合层接触来组装所述第一功能叠层和所述第二功能叠层的所述一部分，所述第二功能叠层的所述一部分包括至少一个第二结合层和所述第二压电材料层，-形成所述第二功能叠层的所述第二电极，以限定与所述第一有源区对准的所述第二有源区。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 法国原子能源和替代能源委员会 具有减小的寄生电容的体声波谐振器的制造方法

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