申请/专利权人：宁夏润阳硅材料科技有限公司

申请日：2023-10-27

公开（公告）日：2024-04-05

公开（公告）号：CN117139264B

主分类号：B08B3/04

分类号：B08B3/04;B08B3/12;B08B3/14;B08B3/08;B08B3/10

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.05#授权;2024.04.02#专利申请权的转移;2023.12.19#实质审查的生效;2023.12.01#公开

摘要：本申请涉及一种多晶硅生产过程中超纯水清洗节能降耗系统，超声槽、快排漂洗槽、超声纯水槽和水淬水箱的进水口均与超纯水管道相连，碱洗槽、超声槽和快排漂洗槽的出水口均与地罐相连，超声纯水槽和水淬水箱的出水口均与陶瓷膜过滤器的进口相连，陶瓷膜过滤器的过滤水出口与碱洗槽的进水口相连。将超声纯水槽和水淬水箱排出的废水经过陶瓷膜过滤器过滤硅粉后，回用至碱洗槽，取代现有技术中碱洗槽使用超纯水初步清洗瓷环，从而达到节约超纯水的效果，相较于现有技术，本申请中这三个设备均单台且同时运转每小时能够节约超纯水10吨，节水率高达37%，这三个设备均单台且同时运转每小时还能够节约用电840度，节电率高达35.4%。

主权项：1.一种多晶硅生产过程中超纯水清洗节能降耗系统，其特征在于，包括瓷环清洗机（100）、硅料清洗机（200）、水淬水箱（300）、地罐（400）、陶瓷膜过滤器（500）和氢气储罐（620），所述瓷环清洗机（100）具有碱洗槽（110）和超声槽（120），所述碱洗槽（110）和所述超声槽（120）内超纯水的温度均为85℃，所述硅料清洗机（200）具有快排漂洗槽（210）和超声纯水槽（220），所述快排漂洗槽（210）内超纯水的温度为30℃，所述超声纯水槽（220）内超纯水的温度为70℃，所述水淬水箱（300）内超纯水的温度为80℃，所述超声槽（120）、所述快排漂洗槽（210）、所述超声纯水槽（220）和所述水淬水箱（300）的进水口均与超纯水管道（610）相连，所述碱洗槽（110）、所述超声槽（120）和所述快排漂洗槽（210）的出水口均与所述地罐（400）相连，所述超声纯水槽（220）和所述水淬水箱（300）的出水口均与所述陶瓷膜过滤器（500）的进口相连，所述陶瓷膜过滤器（500）的过滤水出口与所述碱洗槽（110）的进水口相连，所述陶瓷膜过滤器（500）的浓水出口与所述地罐（400）相连，用于去除碱性物质，所述地罐（400）的顶部设置有出气口，所述出气口与所述氢气储罐（620）相连，所述地罐（400）内设置有搅拌装置。

全文数据：

权利要求：

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