申请/专利权人：芯恩(青岛)集成电路有限公司

申请日：2023-07-14

公开（公告）日：2024-04-05

公开（公告）号：CN220731460U

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;B08B1/12;B08B1/32;B08B3/08;B08B13/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.05#授权

摘要：本实用新型提供了一种晶圆洗刷件、晶圆洗刷件清洗装置和半导体工艺设备。所述晶圆洗刷件包括温感变性材料，所述温感变性材料处于第一温度时，具有第一强度和或第一粘度，所述温感变性材料处于第二温度时，具有第二强度和或第二粘度；其中，所述第一温度大于所述第二温度，所述第一强度小于所述第二强度，所述第一粘度大于所述第二粘度。本实用新型在刷洗晶圆状态和自清洁状态下引入不同温度的水以实现对洗刷件硬度和对颗粒粘度的调控，使得不仅能提高晶圆表面颗粒的刷除率，而且能使洗刷件实现高度的自清洁。解决了现有技术中软质刷子对晶圆清洗容易造成交叉污染,强粘附性的颗粒去除效果差，硬质刷子存在刮伤晶圆的风险的问题。

主权项：1.一种晶圆洗刷件清洗装置，其特征在于，包括：清洗组件，包括晶圆洗刷件，所述洗刷件包括温感变性材料；加热组件，包括加热管，所述加热管用于提供清洗所述洗刷件时所需第一温度的清洗液；冷却组件，包括冷却管，所述冷却管用于提供清洗所述洗刷件时所需第二温度的清洗液，且所述第一温度大于所述第二温度；切换组件，分别与所述加热管和所述冷却管连接，所述切换组件用于切换所述加热管和所述冷却管的开闭。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 芯恩(青岛)集成电路有限公司 一种晶圆洗刷件、晶圆洗刷件清洗装置和半导体工艺设备

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD