申请/专利权人:昆明理工大学
申请日:2024-01-15
公开(公告)日:2024-04-12
公开(公告)号:CN117865674A
主分类号:C04B35/50
分类号:C04B35/50;C04B35/622;C04B35/624
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开
摘要:本发明公开一种室温高TCR钙钛矿锰氧化物薄膜的制备方法,属于非制冷高灵敏红外探测领域。本发明组分为La0.70Ca0.18Sr0.12MnO3,经制胶、陈化、旋涂、热解、预烧、终烧处理得到钙钛矿锰氧化物薄膜;本发明制备的薄膜相纯度高、结晶度高、表面平整光滑、峰值TCR温度Tk处于室温293‑303K、TCR达到10.82%K,且制备周期短、成本低、所得薄膜平整光滑,其可用作非制冷高灵敏测红外热辐射器的探测材料。
主权项:1.一种室温高TCR钙钛矿锰氧化物薄膜的制备方法,其特征在于,具体包括以下步骤:1按化学计量比,称取La、Ca、Sr和Mn的硝酸盐、乙酸盐或者氧化物,将原料装入反应容器中,倒入混合液体;在一定温度下搅拌6h,然后在室温下陈化一定时间得到La0.70Ca0.18Sr0.12MnO3前驱体溶胶;2将LaAlO300l单晶衬底先后置于丙酮、乙醇中分别超声震荡5min,用去离子水冲洗干净后于烘箱中烘烤,后将衬底自然冷却;3采用旋涂法将前驱体溶胶涂于处理好的LaAlO300l单晶衬底表面,转速为4000rmin,时间保持15s,然后得到湿膜;4将所得湿膜置于烘干箱内烘干,然后转移至箱式炉内保温一定时间;5采用管式炉迅速将干膜升温到一定温度内保持10min;6循环5遍步骤1-5,然后再次用管式炉迅速将样品升温到1300℃并保持10min,最终得到La0.70Ca0.18Sr0.12MnO3成品薄膜。
全文数据:
权利要求:
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