申请/专利权人：FEI公司

申请日：2023-10-09

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117877954A

主分类号：H01J37/26

分类号：H01J37/26;H01J37/141

优先权：["20221010 EP 22200647.0"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本发明涉及一种用于降低带电粒子系统的功耗的方法，该带电粒子系统包括至少一个带电粒子光学元件和被配置用于冷却该至少一个带电粒子光学元件的冷却组件，该方法包括在待机模式下运行带电粒子系统的步骤，其中与在操作模式下运行带电粒子系统相比，带电粒子系统的总功耗降低。此外，本发明涉及相应的带电粒子系统。

主权项：1.一种用于降低带电粒子系统的功耗的方法，所述带电粒子系统包括至少一个带电粒子光学元件和被配置用于冷却所述至少一个带电粒子光学元件的冷却组件，所述方法包括以下步骤在待机模式下运行所述带电粒子系统，其中与在操作模式下运行所述带电粒子系统相比，所述带电粒子系统的总功耗降低。

全文数据：

权利要求：

百度查询： FEI公司 降低带电粒子系统的功耗

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