申请/专利权人：日保丽公司

申请日：2022-11-08

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117882008A

主分类号：G03F7/023

分类号：G03F7/023;C08F20/30;G03F7/004;H05B33/02;H05B33/12;H05B33/22;H10K50/00

优先权：["20211108 JP 2021-182036"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本发明提供能够以高精度形成厚膜图案的正型感光性树脂组合物。本发明的一个实施方式的正型感光性树脂组合物包含疏水性树脂A、碱可溶性树脂B、醌二叠氮化合物C、及氟类表面活性剂D，以预烘烤后的膜厚成为3±0.3μm的方式涂布正型感光性树脂组合物，在125℃下预烘烤120秒而形成覆膜后，在30mJcm2的条件下进行曝光，在温度23℃下用2.38质量％的四甲基氢氧化铵水溶液进行显影时，覆膜表面层的溶解速度低于覆膜整体的溶解速度。此处，覆膜表面层的溶解速度是指溶解至覆膜的膜厚达到80％的时间点的平均溶解速度，覆膜整体的溶解速度是指溶解至覆膜的膜厚达到30％的时间点的平均溶解速度。

主权项：1.一种正型感光性树脂组合物，其包含：疏水性树脂A、碱可溶性树脂B、醌二叠氮化合物C、以及氟类表面活性剂D，其中，以预烘烤后的膜厚成为3±0.3μm的方式涂布所述正型感光性树脂组合物，在125℃下预烘烤120秒而形成覆膜后，在30mJcm2的条件下进行曝光，在温度23℃下用2.38质量％的四甲基氢氧化铵水溶液进行显影时，覆膜表面层的溶解速度低于覆膜整体的溶解速度，所述覆膜表面层的溶解速度是指溶解至所述覆膜的膜厚达到80％的时间点的平均溶解速度，所述覆膜整体的溶解速度是指溶解至所述覆膜的膜厚达到30％的时间点的平均溶解速度。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 日保丽公司 正型感光性树脂组合物

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