申请/专利权人：深圳市中图仪器股份有限公司

申请日：2024-03-11

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117870526A

主分类号：G01B7/02

分类号：G01B7/02;G01D5/241

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本公开描述一种微位移传感器，包括定极板、动极板、支撑部、以及第一调节部，定极板包括第一极板和第二极板，动极板设置于第一极板与第二极板之间且可相对于定极板摆动；支撑部包括与定极板连接的第一支撑件、与第一支撑件相对设置的第二支撑件、以及用于连接第一支撑件和第二支撑件的连接件；连接件包括与第一支撑件连接的第一连接单元、以及与第二支撑件连接的第二连接单元；第一连接单元的第一端面与第一支撑件的第一侧面连接，并且第一端面与第一侧面接触的面积小于第一侧面的面积；在装配过程中，第一调节部配置为调整定极板相对动极板的姿态。由此，在装配过程中，能够易于调整定极板相对动极板的姿态。

主权项：1.一种微位移传感器，是通过动极板的摆动以测量位移的传感器，其特征在于，包括定极板、所述动极板、支撑部、以及第一调节部，所述定极板包括第一极板和与所述第一极板相对设置且平行的第二极板，所述动极板设置于所述第一极板与所述第二极板之间且可相对于所述定极板摆动以获得所述位移；所述支撑部包括与所述定极板连接的第一支撑件、与所述第一支撑件相对设置的第二支撑件、以及用于连接所述第一支撑件和所述第二支撑件的连接件；所述连接件包括与所述第一支撑件连接的第一连接单元、以及与所述第二支撑件连接的第二连接单元；所述第一连接单元的第一端面与所述第一支撑件的第一侧面连接，并且所述第一端面与所述第一侧面接触的面积小于所述第一侧面的面积；在装配过程中，所述第一调节部配置为调整所述定极板相对所述动极板的姿态。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳市中图仪器股份有限公司 微位移传感器

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