申请/专利权人：上海谦视智能科技有限公司

申请日：2020-12-18

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN112666166B

主分类号：G01N21/88

分类号：G01N21/88;G01N21/95

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权;2022.03.08#专利申请权的转移;2021.05.04#实质审查的生效;2021.04.16#公开

摘要：本发明公开了一种碳化硅微管检测装及方法置，所述装置包括：相机成像装置、光源控制器、起偏器和验偏器，通过光源控制器控制不同的光源经过半反射镜偏折后，通过起偏器和验偏器后照射被测物，生成不同的图像，所述相机成像装置采集图像，判断被测物是否存在瑕疵。本发明解决了现有碳化硅微管质量检测效果不佳，导致良品率低的问题。

主权项：1.一种碳化硅微管检测装置，其特征在于，所述装置包括：相机成像装置、光源控制器、起偏器和验偏器，通过光源控制器控制不同的光源经过半反射镜偏折后，通过起偏器和验偏器后照射被测物，生成不同的图像，所述相机成像装置采集图像，判断被测物是否存在瑕疵；所述相机成像装置采集正常非偏振光照射下的被测物成像图片；所述被测物设置在起偏器与第一半反射镜之间，第一半反射镜的反射面向内倾斜，第二光源的光束经过第二半反射镜偏折后经过起偏器照射被测物，形成偏振透射下的图像；所述第一半反射镜将第一光源的光束向下偏折90度，照射被测物，经过被测物反射，相机成像系统采集到非偏振光照射下的被测物成像图片；通过偏振光和非偏振光照射成像结合判断出具体的瑕疵类型。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海谦视智能科技有限公司 一种碳化硅微管检测装置及方法

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