申请/专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

申请日：2022-12-30

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN116243497B

主分类号：G02B27/62

分类号：G02B27/62;G02B17/06

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权;2023.06.27#实质审查的生效;2023.06.09#公开

摘要：本发明涉及光学系统装调领域，具体提供了一种用于空间激光干涉测量的离轴四反望远镜装调方法，利用标准平面镜与抛物面组件装调成一组，再利用次镜与一组装调成二组，三镜与四镜装调成三组，最后将二组和三组装调成组，形成光学系统。通过模块化装调方式，减少调整自由度，降低装调难度，提高装调效率。本发明还提供了一种用于空间激光干涉测量的离轴四反望远镜。

主权项：1.一种用于空间激光干涉测量的离轴四反望远镜装调方法，其特征在于，所述离轴四反望远镜包括主镜、次镜、三镜、四镜，其中所述主镜采用抛物面，所述次镜采用双曲面，所述三镜、所述四镜采用球面，孔径400mm的平行入射光线依次经过所述主镜和所述次镜组成的卡式系统后会汇聚成一汇聚点，从所述汇聚点继续传播，经过所述三镜和所述四镜组成的准直系统后，出射的平行光口径缩小为5mm；利用ZYGO干涉仪发出的小口径标准平面波经过所述四镜、所述三镜、所述次镜、所述主镜扩束后变为大口径平面波，经过设置在所述离轴四反望远镜前的标准平面镜发生反射，再次经过所述主镜、所述次镜、所述三镜、所述四镜回到所述ZYGO干涉仪与所述ZYGO干涉仪的参考光发生干涉，得到干涉图；通过调整所述主镜、所述次镜、所述三镜、所述四镜的位置，配合所述标准平面镜和所述ZYGO干涉仪的位置调整，直至所述干涉图的波像差指标满足光学指标要求，完成装调；调整所述主镜、所述次镜、所述三镜、所述四镜的位置包括如下步骤：装调并固定主镜与标准平面镜步骤；所述主镜采用抛物面形式，具有唯一的焦点，所述ZYGO干涉仪发出的球面波经过所述主镜反射后变为平面波，经过所述标准平面镜反射后沿着原路返回，进入所述ZYGO干涉仪与所述ZYGO干涉仪的参考光发生干涉，得到干涉图；通过调整所述标准平面镜与所述ZYGO干涉仪直至所述干涉图的波像差满足所述主镜的设计指标要求，对所述标准平面镜与所述主镜的位置进行固定；装调次镜的步骤；利用所述ZYGO干涉仪发出的球面波经过所述次镜、所述主镜后变为平面波，经过所述标准平面镜反射后沿着原路返回，进入所述ZYGO干涉仪与所述ZYGO干涉仪的参考光发生干涉，得到干涉图；所述主镜与所述标准平面镜的位置已经固定，继续调整所述ZYGO干涉仪与所述次镜的位置，直至干涉图的波像差满足设计指标要求时，对所述次镜的位置进行固定；所述三镜、所述四镜装调成组的步骤；所述三镜、所述四镜采用球面形式，具有唯一的球心；将两个标准球分别放置在所述三镜的球心位置与所述四镜的球心位置，所述两个标准球分别为第一标准球和第二标准球；利用所述ZYGO干涉仪发出的球面波经过所述第一标准球反射后沿着原路返回，进入所述ZYGO干涉仪与所述ZYGO干涉仪的参考光发生干涉，得到干涉图，通过调整ZYGO干涉仪的位置直至所述干涉图的波像差最小，所述ZYGO干涉仪的球面波的球心与第一标准球的球心重合；移开所述第一标准球后所述ZYGO干涉仪球面波继续传播，经过所述三镜后沿着原路返回，进入所述ZYGO干涉仪与参考光发生干涉，得到干涉图，通过调整所述三镜的位置直至干涉图的波像差满足设计要求，对所述三镜的位置进行固定；利用所述ZYGO干涉仪发出的球面波经过所述第二标准球反射后沿着原路返回，进入所述ZYGO干涉仪与所述ZYGO干涉仪的参考光发生干涉，得到干涉图，通过调整ZYGO干涉仪的位置直至所述干涉图的波像差最小，所述ZYGO干涉仪的球面波的球心与第二标准球的球心重合；移开所述第二标准球后所述ZYGO干涉仪球面波继续传播，经过所述四镜后沿着原路返回，进入所述ZYGO干涉仪与所述ZYGO干涉仪的参考光发生干涉，得到干涉图，通过调整所述四镜的位置直至所述干涉图的波像差满足设计要求，对所述四镜的位置进行固定；所述三镜与所述四镜完成装调后形成镜组，将所述三镜与所述四镜固定在同一基板上。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种用于空间激光干涉测量的离轴四反望远镜及装调方法

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