申请/专利权人：中国科学院福建物质结构研究所

申请日：2018-07-12

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN110714194B

主分类号：C23C18/16

分类号：C23C18/16;C23C18/40

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权;2020.02.21#实质审查的生效;2020.01.21#公开

摘要：本发明提供的机械臂全自动浸泡式制备薄膜的装置。所述装置可以根据操作者的意愿对控制系统设置相应参数，来控制机械手臂的沿Z轴方向的上下伸缩和沿X轴方向的移动距离，能够准确的使基底浸入反应容器内部的镀膜液中。还可以控制机械手臂在镀膜液中的停留时间，来保证薄膜的保质生长。还可以进一步控制整个操作的循环次数，来保证制备不同厚度的薄膜。所述装置弥补了人工进行此项浸泡工作的种种不足，如减少了浸泡时间误差大、组装厚度不均匀等问题，具有在复杂环境中制备薄膜的能力，提高了薄膜材料的质量和效率。

主权项：1.一种机械臂全自动浸泡式制备薄膜的装置，其是利用机械臂全自动控制系统采用液相外延生长法在基底上制备薄膜的装置；所述装置包括机械手臂、运动机构、控制系统、反应容器；所述机械手臂设置在反应容器上方且与运动机构连接，所述机械手臂用于抓持薄膜生长的基底，并将该基底浸入反应容器中；所述运动机构用于带动机械手臂完成动作；所述控制系统与运动机构连接，所述控制系统用于接收指令信号，并将指令信号转化成指令控制运动机构的运动；所述反应容器为盛放反应溶液的容器；所述运动机构包括沿X轴方向的移动平台、沿Z轴方向的移动平台、第一丝杠传动机构和第二丝杠传动机构，所述机械手臂通过基座设置在沿Z轴方向的移动平台上，所述沿Z轴方向的移动平台通过连接基座设置在沿X轴方向的移动平台上；所述第一丝杠传动机构与沿X轴方向的移动平台连接，且控制沿X轴方向的移动平台的运动，所述第二丝杠传动机构与沿Z轴方向的移动平台连接，且控制沿Z轴方向的移动平台的运动；所述运动机构在控制系统的控制下实现沿X轴方向和或沿Z轴方向上的移动。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院福建物质结构研究所 一种机械臂全自动浸泡式制备薄膜的装置

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD