申请/专利权人：拉普拉斯(西安)科技有限责任公司

申请日：2023-09-13

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN220774281U

主分类号：H01J37/32

分类号：H01J37/32;C23C14/22;C23C14/56;C23C16/44;C23C16/54;H01L31/18

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权

摘要：本实用新型属于太阳能电池制造技术领域，公开了一种镀膜设备，其包括第一腔体、第二腔体、第一开关件、第二开关件和转运机构，转运机构包括转运腔体和转运部件，转运腔体包括入口腔体和出口腔体，入口腔体被配置为接收第一腔体内的载板，出口腔体被配置为输出载板至第二腔体；转运部件用于在第一腔体和第二腔体之间转运载板；其中，第一开关件设置于入口腔体与第一腔体之间，用于打开或关闭入口腔体；第二开关件设置于出口腔体与第二腔体之间，用于打开或关闭出口腔体。该镀膜设备保证了第一腔体和第二腔体之间的工艺气体互不干扰，相互隔离，不会发生串气现象，确保了异质结电池基片的工艺品质。

主权项：1.镀膜设备，其特征在于，包括：第一腔体10、第二腔体20、第一开关件30、第二开关件40和转运机构50，所述转运机构50包括：转运腔体51，包括入口腔体511和出口腔体512，所述入口腔体511被配置为接收所述第一腔体10内的载板60，所述出口腔体512被配置为输出所述载板60至所述第二腔体20；以及转运部件52，用于在所述第一腔体10和所述第二腔体20之间转运所述载板60；其中，所述第一开关件30设置于所述入口腔体511与所述第一腔体10之间，用于打开或关闭所述入口腔体511；所述第二开关件40设置于所述出口腔体512与所述第二腔体20之间，用于打开或关闭所述出口腔体512。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 拉普拉斯(西安)科技有限责任公司 镀膜设备

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD