申请/专利权人：福州镓谷半导体有限公司

申请日：2023-09-07

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN220767161U

主分类号：C23C16/458

分类号：C23C16/458

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权

摘要：本申请涉及一种石墨盘治具，应用在半导体生产设备领域，包括底座，所述底座上设有若干支撑架，所述支撑架上设有支撑块，石墨盘架设在所述支撑块上，所述支撑架在支撑块所在的面上设有与石墨盘的卡扣槽相匹配的凸块，所述凸块插接在石墨盘的卡扣槽内。本申请具有的技术效果是：石墨盘架设在治具上后进入高温炉开始烘烤清洁工作，石墨盘放置晶圆的表面不与治具贴合，减少了晶圆后续外延生长被污染的可能性，提高了晶圆外延生长的质量。

主权项：1.一种石墨盘治具，其特征在于：包括底座1，所述底座1上设有若干支撑架4，所述支撑架4上设有支撑块7，石墨盘6架设在所述支撑块7上，所述支撑架4在支撑块7所在的面上设有与石墨盘6的卡扣槽相匹配的凸块5，所述凸块5插接在石墨盘6的卡扣槽内。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 福州镓谷半导体有限公司 一种石墨盘治具

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD