申请/专利权人:芯恩(青岛)集成电路有限公司
申请日:2023-09-04
公开(公告)日:2024-04-12
公开(公告)号:CN220760483U
主分类号:B08B15/02
分类号:B08B15/02
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.04.12#授权
摘要:本实用新型提供了一种无尘室局部排气装置,包括排气罩、排气管路和空气叶轮泵;所述排气管路的一端与所述排气罩连接,所述排气管路的另一端可用于与厂务排气管负压连接口连接;所述空气叶轮泵设于所述排气管路,为所述排气管路提供负压,用于将危害气体从所述排气罩吸入,并通过所述排气管路的另一端排出。本实用新型提供的无尘室局部排气装置可以有效的将无尘室中局部的异味及时排走,预防有害异味大面积扩散造成人员恐慌和对产品影响,同时可以保证工程师工作过程中的人身安全,防止有害气体吸入体内。
主权项:1.一种无尘室局部排气装置,其特征在于,包括排气罩、排气管路和空气叶轮泵;所述排气管路的一端与所述排气罩连接,所述排气管路的另一端可用于与厂务排气管负压连接口连接;所述空气叶轮泵设于所述排气管路,为所述排气管路提供负压,用于将危害气体从所述排气罩吸入,并通过所述排气管路的另一端排出。
全文数据:
权利要求:
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