申请/专利权人：无锡展照精密机械科技有限公司

申请日：2022-12-02

公开（公告）日：2024-04-23

公开（公告）号：CN115781954B

主分类号：B28D5/04

分类号：B28D5/04;B28D7/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.23#授权;2023.03.31#实质审查的生效;2023.03.14#公开

摘要：本发明涉及硅片切割技术领域，为一种三主轴三电机驱动的硅片切割设备,切割设备包括轴辊、放线辊、收线辊、金刚石线，金刚石线从放线辊上引出，设备还包括安装座，安装座上固定待切割的硅锭，轴辊包括相互平行的第一轴辊、第二轴辊、第三轴辊，第一轴辊为金刚石线的引入与引出辊，金刚石线依次在第一轴辊、第二轴辊、第三轴辊上绕制若干圈，第二轴辊和第三轴辊之间的金刚石线与硅锭接触并进行切割，安装座将硅锭推向金刚石线，第一轴辊、第二轴辊、第三轴辊具有独立的旋转驱动且转速相同。切割设备还包括自转组件，自转组件位于放线辊和第一轴辊之间，自转组件环绕金刚石线，自转组件带动金刚石线进行自转。

主权项：1.一种三主轴三电机驱动的硅片切割设备，切割设备包括轴辊、放线辊（21）、收线辊（22）、金刚石线（7），所述金刚石线（7）从放线辊（21）上引出，金刚石线（7）在轴辊上绕制若干圈后进入收线辊（22），其特征在于：所述切割设备还包括安装座（8），所述安装座（8）上固定待切割的硅锭（9），所述轴辊包括相互平行的第一轴辊（11）、第二轴辊（12）、第三轴辊（13），所述第一轴辊（11）为金刚石线（7）的引入与引出辊，所述金刚石线（7）依次在第一轴辊（11）、第二轴辊（12）、第三轴辊（13）上绕制若干圈，第二轴辊（12）和第三轴辊（13）之间的金刚石线（7）与硅锭（9）接触并进行切割，所述安装座（8）将硅锭（9）推向金刚石线（7），所述第一轴辊（11）、第二轴辊（12）、第三轴辊（13）具有独立的旋转驱动且转速相同；所述切割设备还包括自转组件（3），所述自转组件（3）位于放线辊（21）和第一轴辊（11）之间，自转组件（3）环绕金刚石线（7），自转组件（3）带动金刚石线（7）进行自转；所述自转组件（3）包括转筒（31）、柱块（34）、弹性球头（35），所述转筒（31）套装在金刚石线（7）上，转筒（31）内沿轴向设置腰圆型延伸并首尾连接的循环腔（32），所述循环腔（32）有两个及以上，循环腔（32）绕转筒（31）轴线圆周均布，所述循环腔（32）壁面上设置首尾相连的T型槽（33），所述柱块（34）嵌入T型槽（33）内，柱块（34）端部固定弹性球头（35），所述转筒（31）外表面输入旋转动力；所述自转组件（3）还包括驱动轮（38）和支撑轮（39），所述驱动轮（38）与支撑轮（39）设置在转筒（31）的外围，驱动轮（38）、支撑轮（39）分别与转筒（31）外表面齿啮合连接，支撑轮（39）被动旋转，驱动轮（38）具有旋转动力输入。

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