申请/专利权人:江苏华恒新能源有限公司
申请日:2023-08-28
公开(公告)日:2024-04-23
公开(公告)号:CN220829936U
主分类号:H01L21/673
分类号:H01L21/673;H01L31/18
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.04.23#授权
摘要:本实用新型公开了一种适用于干湿花篮切换的定位调节结构,包括承载架和下料轨道,承载架上壁开设有沿花篮传送方向布置的花篮夹槽,下料轨道设置在花篮夹槽内,下料轨道的高度小于花篮夹槽的深度,花篮夹槽一侧的承载架上滑动设置有能够定位不同尺寸花篮移动轨迹的调节组件;滑杆下壁设置有减小滑杆与滑槽之间摩擦力的滑动结构,限位板下壁靠近花篮夹槽的一端设置有若干个导向轮。本实用新型适用于干、湿花篮等不同尺寸的花篮,调节方便,使得不同尺寸的花篮在升降压篮机构处能够精准定位,具有纠偏防撞的作用,有效防止硅片进篮时撞击花篮侧杆,造成堵片和碎片的现象,通用性强,工作效率高,延长了花篮和限位板的使用寿命。
主权项:1.一种适用于干湿花篮切换的定位调节结构,其特征在于,包括承载架1和下料轨道2,所述承载架1上壁开设有沿花篮传送方向布置的花篮夹槽3,所述下料轨道2设置在花篮夹槽3内,下料轨道2的高度小于花篮夹槽3的深度,所述花篮夹槽3一侧的承载架1上滑动设置有能够定位不同尺寸花篮移动轨迹的调节组件4。
全文数据:
权利要求:
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