申请/专利权人：荷兰应用自然科学研究组织TNO

申请日：2022-08-04

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN117897601A

主分类号：G01L1/02

分类号：G01L1/02

优先权：["20210805 EP 21189909.1"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.16#公开

摘要：本公开涉及一种用于测量外力的系统100。系统包括衬底1，该衬底形成一组封闭的口袋2，该一组封闭的口袋具有至少一个柔性壁3和封装的MEMS设备4，该至少一个柔性壁随外力而变形，该MEMS设备被配置成引起随口袋内的压力P变化的电信号的变化。柔性壁设置有向外突出的形状和弹性装置，该向外突出的形状被构造成在存在外力的情况下向内弯曲到口袋中，该弹性装置被构造成在没有外力的情况下使向外突出的形状恢复。

主权项：1.一种用于测量外力F的系统，所述系统包括：柔性衬底1，所述柔性衬底包括一种或多种弹性体组合物，所述柔性衬底形成一组封闭的气体填充的口袋，每个口袋2具有至少柔性壁3，所述柔性壁随所述外力而变形；一组MEMS设备4，每个MEMS设备被配置成引起随相应的口袋内的压力P变化的电信号S的变化，其中，所述柔性壁设置有向外突出的形状和弹性装置，所述向外突出的形状被构造成在存在所述外力的情况下向内弯曲到所述口袋中，以增加所述口袋内的所述压力，所述弹性装置被构造成在没有所述外力的情况下使所述向外突出的形状恢复，其中，所述弹性装置由所述柔性壁提供，所述柔性壁包括形状恢复弹性组合物C，所述形状恢复弹性组合物被构造成在没有所述外力的情况下使所述向外突出的形状恢复。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 荷兰应用自然科学研究组织TNO 封闭槽腔压力传感器

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD