申请/专利权人：长春博信光电子有限公司

申请日：2023-12-18

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN117890684A

主分类号：G01R29/08

分类号：G01R29/08;G01S13/89;B81B7/02

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.16#公开

摘要：本发明公开了一种基底分离式微光机电超材料焦平面阵列结构，包括上层结构和下层结构，上层结构为超薄MOEMS焦平面阵列功能层，用于实现传感、探测及光学读出的功能，上层结构厚度为波长的一千分之一～一万分之一；下层结构为透明导电基底，用于形成磁谐振腔，并进行结构支撑。本发明的优点是：功能层厚度超薄，因此灵敏度高；热流时间和热导时间小，因此帧率高；结构简单，像元之间无需布线、走线，因此串扰低、噪声低、信噪比高，可构建超大面阵光学读出探测器。

主权项：1.一种基底分离式微光机电超材料焦平面阵列结构，其特征在于，包括上层结构和下层结构；所述上层结构由上至下依次包括框架、图形化介电层和图形化金属层，所述图形化介电层和图形化金属层共同形成焦平面阵列谐振吸收单元和微光机电传感及执行单元，所述图形化介电层和图形化金属层紧密贴合构成超薄薄膜；所述下层结构由上至下依次包括透明导电层和透明支撑层，所述透明导电层和透明支撑层形成超材料吸收体透明导电基底，所述下层结构形成磁谐振腔，所述透明导电层紧密贴合在所述透明支撑层上；所述上层结构和下层结构分别加工好之后再通过所述边框连接于一体。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 长春博信光电子有限公司 一种基底分离式微光机电超材料焦平面阵列结构

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