申请/专利权人:准懋(杭州)科技有限公司
申请日:2022-10-21
公开(公告)日:2024-04-23
公开(公告)号:CN117917547A
主分类号:G01C19/5621
分类号:G01C19/5621;G01C19/5656
优先权:
专利状态码:在审-公开
法律状态:2024.04.23#公开
摘要:公开了一种微机电陀螺,包括:第一音叉结构和第二音叉结构,第一音叉结构和第二音叉结构的结构相同,且对称排列;每个音叉结构包括:驱动单元;驱动‑检测单元,与驱动单元连接,在驱动单元的驱动下沿第一方向做简谐运动,并且在感应到第三方向的角速度时产生第二方向的运动,第一方向、第二方向和第三方向相互垂直;以及检测单元,与驱动‑检测单元连接,在驱动‑检测单元沿第二方向运动时与驱动‑检测单元一起沿第二方向运动;还包括抑制电极,抑制电极连接于每个音叉结构的驱动单元上。本发明的微机电陀螺,通过将抑制电极设置于驱动单元上,避免了抑制电极的静电力对微机电陀螺的检测模态频率的影响,同时降低了对检测信号的真实性的影响。
主权项:1.一种微机电陀螺,包括:第一音叉结构和第二音叉结构,所述第一音叉结构和所述第二音叉结构的结构相同,且对称排列;每个所述音叉结构包括:驱动单元;驱动-检测单元,与所述驱动单元连接,在所述驱动单元的驱动下沿第一方向做简谐运动,并且在感应到第三方向的角速度时产生第二方向的运动,所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向相互垂直;以及检测单元,与所述驱动-检测单元连接,在所述驱动-检测单元沿所述第二方向运动时与所述驱动-检测单元一起沿所述第二方向运动;其中,还包括抑制电极,所述抑制电极连接于每个音叉结构的驱动单元上。
全文数据:
权利要求:
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