申请/专利权人：意法半导体股份有限公司

申请日：2023-05-26

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN220781090U

主分类号：B06B1/06

分类号：B06B1/06

优先权：["20220527 IT 102022000011279","20230519 US 18/320,876"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权

摘要：本公开涉及微机械压力换能器、换能器阵列和微机电装置。一种微机械压力换能器，包括：固定体，其横向界定主腔体；传导结构，其悬置在主腔体上并包括至少一对可变形结构和可移动区域，可移动区域通过可变形结构机械耦合到固定体。每个可变形结构包括：支撑结构，其包括第一梁和第二梁，第一梁和第二梁各自具有分别固定到固定体和可移动区域的端部，第一梁以一定距离叠置在第二梁上；以及至少一个压电换能结构，机械地耦合到第一梁。压电换能结构是电可控的，使得它们引起相应支撑结构的相应变形和可移动区域沿平移方向的相应平移。本公开的实施例优化了声信号和可移动区域之间的能量交换，并因此最大化了压电区域的变形，增加了灵敏度。

主权项：1.一种微机械压力换能器，其特征在于，包括：固定体，其横向界定主腔体；换能结构，悬置在所述主腔体上，并且所述换能结构包括至少一对可变形结构和可移动区域，所述可移动区域通过所述可变形结构机械地耦合至所述固定体；并且其中每个可变形结构包括：支撑结构，其包括第一梁和第二梁，所述第一梁和所述第二梁各自具有分别固定到所述固定体和所述可移动区域的端部，所述第一梁以一定距离叠置在所述第二梁上；以及至少一个压电换能结构，机械地耦合到所述第一梁；并且其中所述压电换能结构是电可控的，以便引起相应的所述支撑结构的变形和所述可移动区域沿平移方向的相应平移。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 意法半导体股份有限公司 微机械压力换能器、换能器阵列和微机电装置

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