申请/专利权人：罗伯特·博世有限公司

申请日：2019-03-07

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN112105580B

主分类号：B81C1/00

分类号：B81C1/00

优先权：["20180509 DE 102018207201.9"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权;2021.05.28#实质审查的生效;2020.12.18#公开

摘要：本发明涉及一种用于具有倾斜的光学窗的微机械设备的制造方法和一种相应的微机械设备。所述制造方法包括以下步骤：提供具有前侧VS和后侧RS的第一衬底S1；在所述第一衬底S1中形成多个间隔开的通孔F1、F2，所述通孔沿着多个间隔开的列R1、R2布置在所述第一衬底S1中；沿着所述列R1、R2中的每一列形成相应的连续的斜的槽N1、N2，所述槽确定用于倾斜的光学窗G1、G2的支座；并且将所述光学窗G1、G2在所述通孔F1、F2上方接合到所述槽N1、N2中。

主权项：1.用于具有倾斜的光学窗的微机械设备的制造方法，该制造方法具有以下步骤：提供具有前侧VS和后侧RS的第一衬底S1；在所述第一衬底S1中形成多个间隔开的通孔F1、F2，所述通孔沿着多个间隔开的列R1、R2布置在所述第一衬底S1中；沿着所述列R1、R2中的每一列形成相应的连续的斜的槽N1、N2，所述槽确定用于倾斜的光学窗G1、G2的支座；并且将所述光学窗G1、G2在所述通孔F1、F2上方接合到所述槽N1、N2中，其中，在形成所述槽N1、N2之后将第二衬底S2键合到所述前侧VS上，其中，在所述第二衬底S2中形成用于装入所述光学窗G1、G2的装入开口D1、D2，其中，所述槽N1、N2和所述第二衬底S2这样构型，使得所述光学窗G1、G2完全沉降在所述第二衬底S2中。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 罗伯特·博世有限公司 用于具有倾斜的光学窗的微机械设备的制造方法和相应的微机械设备

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