申请/专利权人：清华大学

申请日：2021-12-10

公开（公告）日：2024-04-23

公开（公告）号：CN114280017B

主分类号：G01N21/64

分类号：G01N21/64;G01J11/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.23#授权;2022.04.22#实质审查的生效;2022.04.05#公开

摘要：本发明涉及微机械界面缺陷检测技术领域，提供一种微机械界面纳米级缺陷检测装置，包括激光发射装置，能发射激光；倒置显微镜，包括下物镜；单光子探测器，用于接收光子信号；光路组件，包括扩束透镜、长通滤光片、双色镜、光阑、聚焦透镜和发射滤光片；扫描驱动组件，用于驱动待检测物与激光相对位移，使激光能扫描待检测物；单光子计数器，分别与单光子探测器和激光发射装置连接；处理单元，分别与单光子计数器和扫描驱动组件连接。通过测量微机械界面中激子荧光寿命以获得界面的缺陷信息，并能对界面进行荧光寿命成像，从而获得缺陷的空间分布信息。因此能够对不同缺陷密度、缺陷种类的界面进行荧光寿命成像，从而对微机械界面缺陷进行检测。

主权项：1.一种微机械界面纳米级缺陷检测装置，其特征在于，包括：激光发射装置，能够发射脉冲激光；倒置显微镜，包括下物镜，所述下物镜用于将所述激光聚焦于待检测物的界面并收集待检测物激发的光子信号；单光子探测器，用于接收光子信号；光路组件，包括扩束透镜、长通滤光片、双色镜、光阑、聚焦透镜和发射滤光片，所述扩束透镜和所述长通滤光片设置于所述激光发射装置与所述双色镜的反射端面之间，所述光阑和所述聚焦透镜设置于所述下物镜与所述双色镜的反射端面之间，所述发射滤光片设置于所述单光子探测器与所述双色镜的透射端面之间；扫描驱动组件，用于承载并驱动所述待检测物与所述激光相对位移，以使所述激光能够扫描所述待检测物表面；单光子计数器，分别与所述单光子探测器和所述激光发射装置电连接，且能基于所述激光发射装置传输的激光脉冲周期的数目、所述单光子探测器传输的光子信息，获取多个激光脉冲周期内的光子数量；处理单元，与所述扫描驱动组件和所述单光子计数器电连接，且能基于所述单光子计数器传输的光子数量、所述扫描驱动组件传输的所述激光的照射点位信息，获取各个照射点位的光子数量，从而基于各个照射点位的多个脉冲激光周期内的光子数量，对待检测物界面进行荧光寿命成像；其中，所述扫描驱动组件包括压电位移台和位移台控制器，所述待检测物用于设置在所述压电位移台上，所述压电位移台能够驱动所述待检测物位移；所述位移台控制器分别与所述处理单元、所述单光子计数器和所述压电位移台电连接，所述位移台控制器用于对所述压电位移台的运动状态进行控制，并将所述压电位移台移动的位置信息传输至处理单元。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 清华大学 微机械界面纳米级缺陷检测装置

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