申请/专利权人：株式会社村田制作所

申请日：2022-03-17

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN117897621A

主分类号：G01P15/125

分类号：G01P15/125;H01L29/84

优先权：["20210830 JP 2021-140359"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.03#实质审查的生效;2024.04.16#公开

摘要：抑制静电电容值的检测精度的下降。惯性传感器1包括：MEMS基板50，其包含静电电容部110、保持部130以及弹簧部150，静电电容部110具有第1可动电极111和第2可动电极115，构成为静电电容与第1可动电极111和第2可动电极115之间的距离相应地变化，保持部130构成为保持静电电容部110，弹簧部150将静电电容部110和保持部130连接，该弹簧部150构成为将第1可动电极111和第2可动电极115分别支承为能够相对于保持部130移位；以及上盖30，其与MEMS基板50接合。

主权项：1.一种微机电系统器件，其中，该微机电系统器件包括：第1基板，其包含静电电容部、保持部以及弹性部，所述静电电容部具有第1可动电极和第2可动电极，该静电电容部构成为静电电容与所述第1可动电极和所述第2可动电极之间的距离相应地变化，所述保持部构成为保持所述静电电容部，所述弹性部将所述静电电容部和所述保持部连接，该弹性部构成为将所述第1可动电极和所述第2可动电极分别支承为能够相对于所述保持部移位；以及第2基板，其与所述第1基板接合。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社村田制作所 微机电系统器件

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