申请/专利权人：山东理工大学

申请日：2024-01-09

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN117889993A

主分类号：G01L1/14

分类号：G01L1/14;B81B7/02;G01L9/12

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.03#实质审查的生效;2024.04.16#公开

摘要：一种梁膜结合的MEMS电容压力传感器，包括封装盖板、电容结构层以及背腔，其中电容结构层包含感压薄膜、移动梳齿、固定梳齿、移动梳齿连接梁、移动梳齿耦合梁、固定梳齿悬臂梁、凸台和锚点。移动梳齿连接在耦合梁两端通过连接梁和锚点与感压膜片固连，固定梳齿通过固定梳齿悬臂梁连接在膜片边缘，移动梳齿、固定梳齿、移动梳齿连接梁、移动梳齿耦合梁相对于感压薄膜均处于悬空状态，固定梳齿与移动梳齿交错配置。本发明设计的梁膜结构的梳齿MEMS电容压力传感器，通过梳齿垂直非共面移动实现压力检测，梁膜结构提高了梳齿错开的相对面积，提高了传感器电容输出，并且结合膜下凸台，降低了传感器的非线性并具有过载保护能力，具有广阔的应用前景。

主权项：1.一种梁膜结构的梳齿MEMS电容压力传感器，其特征在于：包括封装盖板1、电容结构层2、背腔3。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 山东理工大学 一种梁膜结构的梳齿MEMS电容压力传感器

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