申请/专利权人：成都贡爵微电子有限公司

申请日：2023-12-19

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN117890756A

主分类号：G01R31/28

分类号：G01R31/28;G01R1/04;G01R1/073;B08B1/12;B08B1/32;B01D46/12

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.03#实质审查的生效;2024.04.16#公开

摘要：本发明适用于电路电子测试技术领域，提供了一种高低频混装的垂直互连的测试模块，包括外框体，所述外框体设置有放置槽，还包括：所述放置槽中转动连接若干个支撑柱，所述支撑柱上转动连接有吸盘，其中一根支撑柱固定连接有双面毛刷，所述外框体中设置有机构槽，所述机构槽中设置有驱动机构，所述外框体中部设置有活塞腔，所述活塞腔中水平滑动设置一号过滤板，所述活塞腔中滑动密封连接有活塞板。本发明提供的一种高低频混装的垂直互连的测试模块，双面毛刷对芯片板面以及检测组件进行同步除尘，避免灰尘吸附在检测组件与芯片表面，影响检测组件对芯片垂直检测精度。

主权项：1.一种高低频混装的垂直互连的测试模块，包括外框体（1），所述外框体（1）设置有放置槽（2），其特征在于，还包括：所述放置槽（2）中转动连接若干个支撑柱（3），所述支撑柱（3）上转动连接有吸盘（4），其中一根支撑柱（3）固定连接有双面毛刷（5），所述外框体（1）中设置有机构槽（10），所述机构槽（10）中设置有驱动机构（6），所述驱动机构（6）能够带动支撑柱（3）连同双面毛刷（5）转动；所述外框体（1）中部设置有活塞腔（11），所述活塞腔（11）中水平滑动设置一号过滤板（17），所述活塞腔（11）中滑动密封连接有活塞板（12），所述活塞板（12）与驱动机构（6）之间设置有传动组件（7），所述传动组件（7）用于带动活塞板（12）在活塞腔（11）中竖向移动；所述活塞腔（11）与机构槽（10）之间连接有若干个出气端均朝向活塞腔（11）的一号单向气阀（13），所述放置槽（2）的侧壁设置有多个出气端朝向放置槽（2）内部的二号单向气阀（14）；所述放置槽（2）中部设置有槽腔（18），所述槽腔（18）中滑动连接有检测组件（8），所述槽腔（18）与活塞腔（11）连通，所述槽腔（18）设置有气压阀（9）。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 成都贡爵微电子有限公司 一种高低频混装的垂直互连的测试模块

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