申请/专利权人：之江实验室;浙江大学

申请日：2021-10-26

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN113960892B

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权;2022.02.15#实质审查的生效;2022.01.21#公开

摘要：本发明公开了一种可连续像旋转调制的高速并行激光直写光刻的方法与装置，本发明装置利用像旋转器对多光束排布方向进行旋转，使得多光束排布方向与转镜扫描方向连续可调，实现了五种不同的高速扫描策略。本发明基于上述五种不同扫描策略，有效解决了现有并行激光直写由于扫描策略单一导致扫描效果与扫描速度不佳的问题。本发明针对不同应用，使用不同扫描策略，实现扫描速度与扫描质量的双重提升。

主权项：1.一种可连续像旋转调制的高速并行激光直写光刻的方法，其特征在于，包括步骤：a基于激光器产生一束刻写激光；b基于光学衍射器件生产不同衍射方向传播的多路光束；c基于多通道高速光开关独立控制每束光开关；d基于转镜对多光束进行高速扫描，实现第一维扫描；e选择扫描策略，基于像旋转器对多光束排布方向进行调制，实现三维扫描光刻；所述扫描策略包括以下步骤：3a使用像旋转器将多光束排布方向调整到与转镜扫描方向呈一个小角度θ3，角度大小满足：sinθ3＝δdD相邻，其中δd表示相邻两行的设定间距，D相邻表示多光束相邻两束光的距离；3b打开多通道高速光开关，输出多光束刻写波形，转镜扫描N次，N＝1,2,3…，完成同一行N次扫描；3c关闭多通道高速光开关，位移台沿垂直或平行转镜扫描方向进行一次步进移动；3d重复步骤3b和步骤3c，当位移台完成指定次步进后，完成垂直于转镜扫描方向的一整列区域刻写，此时位移台沿平行于转镜扫描方向进行一次运动，移动距离L3为：L3＝L转镜-L无效3，其中L转镜表示转镜一次扫描可实现的刻写范围，L无效3表示由于多光束倾斜而导致的无效刻写区域，L无效3＝D相邻×N光束cosθ3；3e重复步骤3b～3d，直到所有图形刻写完成。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 之江实验室;浙江大学 可连续像旋转调制的高速并行激光直写光刻的方法与装置

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