申请/专利权人：乐孜芯创半导体设备(上海)有限公司

申请日：2023-06-09

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN116798923B

主分类号：H01L21/68

分类号：H01L21/68;H01L21/673;H01L21/683

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权;2023.10.13#实质审查的生效;2023.09.22#公开

摘要：本发明提供了一种晶圆载具环定心定向装置，包括：底板，所述底板上安装有第一运动单元和两个对称设置的第二运动单元；所述第一运动单元具有两个端部，所述两个端部分别可活动的连接于两个所述第二运动单元；驱动控制单元，用于驱动控制所述第一单元运动，进而使所述第一单元带动两个所述第二单元相互靠近或远离，两个所述第二运动单元的相对的端部用于夹紧所述晶圆载具环；所述第一单元和所述第二单元的运动路径相互垂直；所述驱动控制单元和所述第一运动单元之间通过弹性部件相连接。本发明能够实现晶圆载具环的定心定向，且结构简单、成本低、可靠性高。

主权项：1.一种晶圆载具环定心定向装置，其中所述晶圆载具环的上下左右有四条正方形的切边，相邻的所述切边之间通过同圆心的圆弧边相连，其特征在于，所述晶圆载具环定心定向装置包括：底板，所述底板上安装有第一运动单元和两个对称设置的第二运动单元；所述第一运动单元具有两个端部，所述两个端部分别可活动的连接于两个所述第二运动单元；驱动控制单元，用于驱动控制所述第一运动单元运动，进而使所述第一运动单元带动两个所述第二运动单元相互靠近或远离，两个所述第二运动单元的相对的端部用于夹紧所述晶圆载具环；所述第一运动单元和所述第二运动单元的运动路径相互垂直；所述驱动控制单元和所述第一运动单元之间通过弹性部件相连接；所述第二运动单元包括夹紧块，所述夹紧块包括导向块和分别位于所述导向块两侧的滚柱，所述导向块与所述晶圆载具环的切边相对应，所述滚柱能够与所述切边两侧的圆弧边滚动相切；在所述驱动控制单元的控制下，两个所述第二运动单元分别带动各自的所述导向块和两侧的滚柱运动，且速度相同方向相反；使各自的导向块分别与晶圆载具环的上下平边同时接触，使四个滚柱分别与晶圆载具环的四个圆弧边同时接触，进而使四个滚柱形成的中心与晶圆载具环的中心重合，实现晶圆载具环的定心定向。

全文数据：

权利要求：

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