申请/专利权人：之江实验室;浙江大学

申请日：2022-01-25

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN114442257B

主分类号：G02B7/28

分类号：G02B7/28;G02B27/28;G02B27/10

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权;2022.05.24#实质审查的生效;2022.05.06#公开

摘要：本发明公开了一种大范围高精度光束焦面跟踪装置，入射光束首先依次经过所述二分之一波片、偏振分束镜和四分之一波片，形成第一光束；第一光束经过所述物镜聚焦在样品表面，而聚焦在样品表面的激光被样品表面反射，依次经过物镜与四分之一波片后，被偏振分束镜反射到另一侧，形成第二光束；第二光束经过非偏振分束镜分解为第三光束与第四光束；第三光束经过所述第一柱面镜和第二柱面镜后，入射到所述四象限探测器的探测面上；第四光束经过所述透镜和针孔后，入射到所述光电倍增管探测器的探测面上。本发明与现有焦面跟踪装置相比，既可以保证高精度，又极大的扩展了焦面跟踪的范围。

主权项：1.一种大范围高精度光束焦面跟踪装置，其特征在于，包括二分之一波片1、偏振分束镜2、四分之一波片3、物镜4、非偏振分束镜6、第一柱面镜7、第二柱面镜8、四象限探测器9、透镜10、针孔11、光电倍增管探测器12，其中：入射光束首先依次经过所述二分之一波片1、偏振分束镜2和四分之一波片3，形成第一光束B1；第一光束B1经过所述物镜4聚焦在样品5表面，而聚焦在样品5表面的激光被样品5表面反射，依次经过物镜4与四分之一波片3后，被偏振分束镜2反射到另一侧，形成第二光束B2；第二光束B2经过非偏振分束镜6分解为第三光束B3与第四光束B4；第三光束B3经过所述第一柱面镜7和第二柱面镜8后，入射到所述四象限探测器9的探测面上；第四光束B4经过所述透镜10和针孔11后，入射到所述光电倍增管探测器12的探测面上；其中，先利用四象限探测器进行大范围粗调焦，再利用光电倍增管探测器进行小范围高精度调节。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 之江实验室;浙江大学 一种大范围高精度光束焦面跟踪装置

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