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【发明授权】外观检查设备、外观检查方法、程序和工件制造方法_索尼公司_201880082194.0 

申请/专利权人:索尼公司

申请日:2018-12-13

公开(公告)日:2024-04-16

公开(公告)号:CN111492231B

主分类号:G01N21/88

分类号:G01N21/88;G01N21/89;B25J19/04;H04N23/50;H04N23/695

优先权:["20171226 JP 2017-248722"]

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.04.16#授权;2021.01.05#实质审查的生效;2020.08.04#公开

摘要:本外观检查设备包括第一机械臂部、第二机械臂部和控制单元。第一机械臂部包括第一臂部和第一扫描部,第一扫描部包括第一线相机并且被设置到第一臂部。第二机械臂部包括第二臂部和第二扫描部,该第二扫描部包括第二线相机并且设置在第二臂部上。控制单元在使用第一臂部使第一扫描部在具有第一面和第二面的工件的第一面沿扫描方向移动时,使用第一线相机对第一面进行图像捕获并使用第一扫描部扫描第一面,并且在使用第一扫描部扫描第一面时,在使用第二臂部使第二扫描部沿扫描方向在第二面上移动的同时,使用第二线相机在第二面上进行图像捕获,并使用第二扫描部扫描第二面。

主权项:1.一种外观检查设备,包括:第一机械臂部,其包括第一臂部以及第一扫描部,第一扫描部包括第一线相机并设置在第一臂部上;第二机械臂部,其包括第二臂部以及第二扫描部,第二扫描部包括第二线相机并设置在第二臂部上;和控制单元,其在使用第一臂部使第一扫描部沿扫描方向在具有第一面和第二面的工件的第一面上移动的同时,使用第一线相机在所述第一面上进行图像捕获,并使用第一扫描部扫描第一面,以及在使用第一扫描部扫描第一面时,在使用第二臂部使第二扫描部沿扫描方向在第二面上移动的同时,使用第二线相机在第二面上进行图像捕获,并使用第二扫描部扫描第二面,其中,工件还包括第三面,所述第一面、所述第二面和所述第三面彼此相邻,控制单元使第一扫描部和第二扫描部协同扫描第三面,控制单元使用第一扫描部沿预定扫描方向扫描第三面,并使用第二扫描部沿与预定扫描方向不同的扫描方向扫描与使用第一扫描部在第三面中扫描的区域相同的区域,第一扫描部还包括第一发光部,该第一发光部与第一线相机一起沿扫描方向移动,并且将光照射到第一线相机进行图像捕获的部位上,第二扫描部还包括第二发光部,该第二发光部与第二线相机一起沿扫描方向移动,并且将光照射到第二线相机进行图像捕获的部位上,并且控制单元控制第一扫描部和第二扫描部的扫描运动,以免发生来自第一发光部的光与第二线相机进行的图像捕获的干涉的光干涉和来自第二发光部的光与第一线相机进行的图像捕捉的干涉的光干涉。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 索尼公司 外观检查设备、外观检查方法、程序和工件制造方法

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