申请/专利权人：上海友电绿能自动化有限公司

申请日：2023-09-11

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN220796680U

主分类号：H01L21/673

分类号：H01L21/673;H01L21/687

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权

摘要：本实用新型公开了一种SDR粗抛工艺槽压片装置，包括：固定平台、防浮漂压板和硅片花篮，所述固定平台上安装有两组夹爪机构，每组夹爪机构分为外夹爪结构和内夹爪结构，外夹爪结构夹卡连接硅片花篮，内夹爪结构夹卡连接防浮漂压板。本实用新型将固定平台安装在上位控制系统上，将硅片排列放置在硅片花篮，通过内夹爪结构夹固防浮漂压板，再利用外夹爪结构夹固硅片花篮，此时防浮漂压板正好位于硅片花篮上方，压住硅片，使批量硅片浸水清洗的安全性更高，夹持不同高度的防浮漂压板和不同规格的硅片花篮，进而适应不同规格的硅片，灵活度更高，解决了以往繁琐工艺配套环节。

主权项：1.一种SDR粗抛工艺槽压片装置，其特征在于：包括：固定平台1、防浮漂压板3和硅片花篮5，所述固定平台1上安装有两组夹爪机构，每组夹爪机构分为外夹爪结构2和内夹爪结构4；所述外夹爪结构2夹卡连接硅片花篮5，内夹爪结构4夹卡连接防浮漂压板3；所述外夹爪结构2包含对称设置的一对第一夹爪臂23，第一夹爪臂23滑动连接固定平台1，两个所述第一夹爪臂23之间设有第一伸缩气缸24；每个所述第一夹爪臂23上对称安装吊柱22，吊柱22可升降调节，吊柱22下端固定连接外夹板21，外夹板21上开设有若干个第一沟槽211。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海友电绿能自动化有限公司 一种SDR粗抛工艺槽压片装置

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