申请/专利权人：浙江鸿禧能源股份有限公司

申请日：2023-09-05

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN220796667U

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L31/18;C30B33/10

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权

摘要：本实用新型公开了一种均匀反应的制绒槽，包括槽体、热水管、冷水管、氮气管、循环泵和均流板，槽体内设有固定筒，固定筒内部形成内槽，固定筒与槽体的内壁之间形成溢流槽，槽体的下端设有循环管，循环管的一端连通内槽底部，另一端连通溢流槽的底部，循环泵安装在循环管上，循环管上安装有在线加热装置，均流板安装在内槽底部，氮气管上设有曝气段，曝气段上设有若干曝气孔，曝气段位于内槽底部。本实用新型的均匀反应的制绒槽，利用氮气曝气鼓泡及循环泵造流循环，加快制绒液体混合均匀。通过循环泵造流循环，以及均流板的设计，使得循环液体分散均匀，各个位置的硅片都能够受到均匀的冲击力，药剂溶度能够保持均匀，提高制绒效果。

主权项：1.一种均匀反应的制绒槽，其特征在于，包括槽体、热水管、冷水管、氮气管、循环泵和均流板，所述槽体内设有固定筒，固定筒内部形成内槽，固定筒与槽体的内壁之间形成溢流槽，固定筒的上端高度低于槽体的上端高度，所述槽体的下端设有循环管，循环管的一端连通内槽底部，另一端连通溢流槽的底部，循环泵安装在循环管上，循环管上安装有在线加热装置，在线加热装置对循环管内的液体进行加热，所述热水管的出水口和冷水管的出水口分别位于内槽的上方，所述均流板通过支架安装在内槽底部，所述氮气管上设有曝气段，曝气段上设有若干曝气孔，曝气段位于内槽底部并位于均流板的下方，氮气管连接氮气罐。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 浙江鸿禧能源股份有限公司 一种均匀反应的制绒槽

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