申请/专利权人：昆明物理研究所

申请日：2023-09-04

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN220788750U

主分类号：C23C14/24

分类号：C23C14/24

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权

摘要：本实用新型涉及一种真空腔体用可调方向拨叉装置，由角度调整及伸缩部分、支撑及伸缩控制部分、拨叉杆部分及外部旋转强磁套等部分组成；通过角度调整及伸缩部分可实现拨叉方向调整，通过支撑及伸缩控制部分可实现拨叉杆的前后伸缩，通过外部旋转强磁套部分可控制拨叉杆的旋转。本装置可以在如分子束外延腔体等真空腔体内实现轴向伸缩，并绕轴偏转一定角度，可以在一定空间立体角内调节方向的拨叉，其结构简单，安装在真空腔体上一定的位置，可以实现对某一真空腔体内区域的拨动、摩擦、敲击等诸多机械动作，有利于处理一些腔体中突发的一些机械故障。

主权项：1.一种真空腔体用可调方向拨叉装置，其特征在于，该装置由角度调整及伸缩部分1、支撑及伸缩控制部分2、拨叉杆部分3及外部旋转强磁套4四个部分组成；所述角度调整及伸缩部分1作为拨叉装置的主体，由自向依次连接的角度调整波纹管法兰11、转接法兰12、伸缩波纹管13和磁套耦合固定套管14组成，其前端通过角度调整波纹管法兰11连接到分子束外延设备生长腔室上，其后端与外部旋转强磁套4连接；所述伸缩波纹管13的前后端均通过法兰与转接法兰12和磁套耦合固定套管14连接；所述支撑及伸缩控制部分2位于伸缩波纹管13的侧部，由自向依次连接的支撑架前部固定块21、丝杆22、支撑架滑动块24、支撑架后部固定块25和旋转手柄26组成，以丝杆22为中心还设置有数根支撑杆23，其中，所述支撑架前部固定块21与支撑架后部固定块25通过螺杆连接到伸缩波纹管13前后端法兰的外部；所述拨叉杆部分3整体位于角度调整及伸缩部分1内，由前后依次连接的拨叉头31、拨叉杆33、拨叉杆第一固定轴承34、拨叉杆第二固定轴承35及内部强磁转动轴36组成，其中，所述拨叉杆第一固定轴承34安装在伸缩波纹管13前端法兰的内壁中，所述拨叉杆第二固定轴承35安装在伸缩波纹管13后端法兰的内壁中，所述拨叉杆33可在所述拨叉杆第一固定轴承34、拨叉杆第二固定轴承35前后两个轴承中前后滑动。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 昆明物理研究所 一种真空腔体用可调方向拨叉装置

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD