申请/专利权人：四川上特科技有限公司

申请日：2023-09-04

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN220796703U

主分类号：H01L21/687

分类号：H01L21/687;H01L21/56

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权

摘要：一种晶圆钝化处理夹具，包括：架体部，包括架体，架体上设有安装板，安装板的一面设有气缸，气缸的输出端穿过安装板连接推板；夹持部，沿安装板阵列设有多个，夹持部包括电机，电机的输出轴的一端连接转盘，沿转盘的外周呈圆周阵列地设有至少三个支板，支板的一端滑动设有档杆组件，档杆组件的一端推动组件，推动组件穿设于电机的输出轴上，且转盘与挡板组件之间设有弹簧，推动组件位于推板上。用于晶圆进行钝化处理时，对不同尺寸晶圆的外周进行夹持，适用范围广，节约成本。

主权项：1.一种晶圆钝化处理夹具，其特征在于，包括：架体部（1），包括架体，架体上设有安装板（12），安装板（12）的一面设有气缸（13），气缸（13）的输出端穿过安装板（12）连接推板（11）；夹持部（2），沿安装板（12）阵列设有多个，夹持部（2）包括电机（21），电机（21）的输出轴的一端连接转盘（22），沿转盘（22）的外周呈圆周阵列地设有至少三个支板（23），支板（23）的一端滑动设有挡杆组件（24），挡杆组件（24）的一端设有推动组件（25），推动组件（25）穿设于电机（21）的输出轴上，且转盘（22）与推动组件（25）之间设有弹簧（26），推动组件（25）位于推板（11）上。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 四川上特科技有限公司 一种晶圆钝化处理夹具

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