申请/专利权人：沈阳成功科技有限公司;中科(沈阳)产业技术创新研究院有限公司

申请日：2023-09-07

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN220788751U

主分类号：C23C14/24

分类号：C23C14/24;C23C14/50

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权

摘要：一种真空镀膜设备的样品位置调整机构，所属真空镀膜样品位置调整技术领域，包括密封板和外接固定板，其特征在于，外接固定板的上下两端均固定安装有定位板，两个定位板之间转动安装有丝杠，丝杠的外表面套接安装有丝杠滑台，上端定位板的上表面固定安装有丝杠电机，丝杠电机的输出端与丝杠的顶端固定连接，丝杠滑台的左端贯穿转动安装有支撑杆，支撑杆贯穿密封板的中心位置，支撑杆与密封板固定连接，且支撑杆的顶端固定安装有镀膜架，下端定位板的下表面固定安装有减速电机，减速电机的输出端与支撑杆的底端固定连接，本实用新型在不影响镀膜架与取样机械爪配合使用的前提下，能够使镀膜架与真空镀膜设备之间装卸更加方便快捷，提高工作效率。

主权项：1.一种真空镀膜设备的样品位置调整机构，包括密封板1和外接固定板2，其特征在于，所述外接固定板2的上下两端均固定安装有定位板3，两个定位板3之间转动安装有丝杠4，所述丝杠4的外表面套接安装有丝杠滑台41，上端所述定位板3的上表面固定安装有丝杠电机5，所述丝杠电机5的输出端与丝杠4的顶端固定连接；所述丝杠滑台41的左端贯穿转动安装有支撑杆6，所述支撑杆6贯穿密封板1的中心位置，所述支撑杆6与密封板1固定连接，且支撑杆6的顶端固定安装有镀膜架8，下端所述定位板3的下表面固定安装有减速电机7，所述减速电机7的输出端与支撑杆6的底端固定连接。

全文数据：

权利要求：

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