申请/专利权人：浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司

申请日：2023-12-21

公开（公告）日：2024-04-19

公开（公告）号：CN117904711A

主分类号：C30B25/08

分类号：C30B25/08;C30B25/12;C23C16/44;C23C16/458

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.07#实质审查的生效;2024.04.19#公开

摘要：本发明涉及用于制作半导体设备的技术领域，且公开了一种外延生产设备及方法，包括炉体，炉体内部的两侧分别开设有生长室与进料仓，进料仓的内部设置有生长盘，进料仓的内部设置有存放组件，存放组件包括有框板，框板的下方设置有外环，外环的上端开设有上槽口，上槽口的内部设置有阻隔组件，进料仓的内部设置有传动组件，通过将多个生长盘在放置环板上方叠放，将驱动电机启动带动传动板使圆辊在导引框的内部做圆周运动并带动移动板使凸桩与翘柱接触，凸桩带动翘柱与卡板在短槽口内部活动并挤推翘杆，同时移动板持续带动推板移动将生长盘挤推进入生成炉台的上方进行外延层的生成，达到快速将生长盘带动硅片进行上料的效果。

主权项：1.一种外延生产设备，包括炉体10，炉体10内部的两侧分别开设有生长室11与进料仓12，生长室11的内部安装有用于生成的生成炉台13，进料仓12的内部设置有用于将硅片进行放置的生长盘14，生长盘14的下端固定连接有支撑环15，支撑环15的下端开设有卡槽16，其特征在于：所述进料仓12的内部设置有用于将生长盘14放置的存放组件，存放组件包括有框板20，框板20固定镶嵌在炉体10的外部，且框板20的内部与进料仓12的内部连通，框板20的下方设置有外环24，外环24的外部固定连接有若干个固定桩26，固定桩26远离外环24的一端在进料仓12的内壁，外环24的上端开设有上槽口27，上槽口27的内部设置有用于支撑硅片堆叠的阻隔组件，进料仓12的内部设置有用于将生长盘14进行推动的传动组件。

全文数据：

权利要求：

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