申请/专利权人：东佑达奈米系统股份有限公司

申请日：2022-11-16

公开（公告）日：2024-04-19

公开（公告）号：CN117900850A

主分类号：B23Q1/01

分类号：B23Q1/01;B23Q1/38;B23Q17/00

优先权：["20221019 TW 111139672"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.07#实质审查的生效;2024.04.19#公开

摘要：一种气浮导轨装置，包含导轨单元、滑座单元及线性马达单元，所述导轨单元包括导轨本体及两个气浮块组，所述滑座单元能滑动的跨设于所述导轨单元，并包括中间座及一体连接于所述中间座两侧的两个侧座，每一个侧座具有第一导面、第一导气道、第二导面及第二导气道，所述线性马达单元能驱动所述滑座单元相对于所述导轨单元产生线性移动。高压气体自所述第一导气道及所述第二导气道导入，且在所述第一导面、所述第二导面与所述气浮块组之间产生气膜，能使所述滑座单元相对于所述导轨单元顺畅滑动。

主权项：1.一种气浮导轨装置，包含导轨单元、滑座单元及线性马达单元，其特征在于：所述导轨单元，包括采用第一材料制成的导轨本体，以及两个采用第二材料制成且固定于所述导轨本体的气浮块组，所述第二材料的硬度大于所述第一材料的硬度，且所述第一材料的延展性优于所述第二材料的延展性，所述导轨本体具有两个轨座，以及介于所述轨座之间的凹陷空间，每一个轨座具有位于所述凹陷空间一侧的顶定位面，以及设置于所述顶定位面一侧且相对于所述顶定位面呈角度设置的侧定位面，所述气浮块组分别对应于所述轨座，每一个气浮块组具有固定于所述顶定位面的顶气浮块，以及固定于所述侧定位面的侧气浮块；所述滑座单元，能滑动的跨设于所述导轨单元，并采用一体成型方式制成，且包括中间座，以及一体连接于所述中间座两侧的两个侧座，所述侧座分别对应于所述轨座，每一个侧座具有相邻于所述顶气浮块且位于所述中间座一侧的第一导面、由外部连通至所述第一导面的第一导气道、设置于所述第一导面一侧且相对于所述第一导面呈角度设置的第二导面，以及由外部连通至所述第二导面的第二导气道；所述线性马达单元，包括安装于所述导轨单元的凹陷空间中的定子，以及安装于所述滑座单元的中间座且相对于所述定子的动子，所述线性马达单元能驱动所述滑座单元相对于所述导轨单元产生线性移动。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 东佑达奈米系统股份有限公司 气浮导轨装置

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