申请/专利权人：厦门光莆电子股份有限公司

申请日：2024-02-19

公开（公告）日：2024-04-19

公开（公告）号：CN117904582A

主分类号：C23C14/24

分类号：C23C14/24

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.07#实质审查的生效;2024.04.19#公开

摘要：本发明提供了一种防飞溅的金属蒸镀装置及金属蒸镀工艺，涉及镀膜工艺技术领域。包括适于将金属丝气化的蒸发舟，所述蒸发舟的熔池上方设置有导料装置，所述导料装置内形成有适于金属丝进入的导料通道，所述导料装置靠近所述蒸发舟熔池的一端形成有开口大于所述导料通道的罩口，所述罩口适于在所述金属丝在靠近所述蒸发舟的位置液化滴落产生飞溅时遮挡飞溅的金属液。通过本发明方案，可以大大减少蒸镀时金属液飞溅的情况，提高蒸镀质量。

主权项：1.一种防飞溅的金属蒸镀装置，包括适于将金属丝气化的蒸发舟，其特征在于，所述蒸发舟的熔池上方设置有导料装置，所述导料装置内形成有适于金属丝进入的导料通道，所述导料装置靠近所述蒸发舟熔池的一端形成有开口大于所述导料通道的罩口，所述罩口适于在所述金属丝在靠近所述蒸发舟的位置液化滴落产生飞溅时遮挡飞溅的金属液。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 厦门光莆电子股份有限公司 一种防飞溅的金属蒸镀装置以及金属蒸镀工艺

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