申请/专利权人：友上智能科技(苏州)有限公司

申请日：2022-12-07

公开（公告）日：2024-04-19

公开（公告）号：CN115831836B

主分类号：H01L21/677

分类号：H01L21/677;H01L21/673;H01L21/687

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.19#授权;2023.04.07#实质审查的生效;2023.03.21#公开

摘要：本发明属于机器人技术领域，涉及一种自动调节片篮角度的硅片湿制程搬运机器人，包括移动机构以及位于移动机构上的夹取机构和水槽，水槽收纳片篮，片篮具有用来插放硅片的插槽，片篮具有支撑脚，支撑脚的两侧具有垂直于插槽的直立面，水槽的底部设有片篮限位机构，片篮限位机构包括托放支撑脚的支撑面和位于支撑面的外侧且面向直立面的侧墙，相对侧墙之间的距离大于相对直立面之间的距离2‑3mm，侧墙上设有抵在直立面上的若干弹性调节件。本搬运机器人能利用弹性调节件让片篮放入水槽时自动调节到所需的角度，使夹取机构可以准确夹取到片篮，不仅方便了操作，而且避免了搬运机器人移动过程中片篮移位带来的夹取失败片篮掉落而碰伤硅片的问题。

主权项：1.一种自动调节片篮角度的硅片湿制程搬运机器人，包括移动机构以及位于所述移动机构上的夹取机构和水槽，所述水槽收纳片篮，所述片篮具有用来插放硅片的插槽，所述片篮具有支撑脚，所述支撑脚的两侧具有垂直于所述插槽的直立面，其特征在于：所述水槽内设有片篮限位机构，所述片篮限位机构包括托放所述支撑脚的支撑面和位于所述支撑面的外侧且面向所述直立面的侧墙，相对侧墙之间的距离大于相对直立面之间的距离2-3mm，所述侧墙上设有抵在所述直立面上的若干弹性调节件；所述片篮限位机构为矩形分布的四个限位块，所有限位块均具有所述支撑面和所述侧墙，所述限位块还包括同时垂直于所述支撑面和所述侧墙的止挡面，相对止挡面之间的距离大于所述支撑脚长度2-3mm；所述弹性调节件包括弹簧顶销以及螺母，所述弹簧顶销的外侧具有外螺纹，所述弹簧顶销的前端具有用来接触所述直立面的钢珠，所述弹簧顶销依靠外螺纹从所述侧墙的外侧面旋入所述侧墙并使所述钢珠从所述侧墙的内侧面穿出，所述螺母螺纹配合于所述外螺纹上并且抵住所述侧墙的外侧面。

全文数据：

权利要求：

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