申请/专利权人：南昌中微半导体设备有限公司;中微半导体设备(上海)股份有限公司

申请日：2023-11-02

公开（公告）日：2024-04-19

公开（公告）号：CN117174629B

主分类号：H01L21/673

分类号：H01L21/673;H01L21/677

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.19#授权;2023.12.22#实质审查的生效;2023.12.05#公开

摘要：本发明公开了一种托盘载具和SMIF盒装载设备，托盘载具包括：底板，其底面用于与SMIF盒内的底座限位固定；托盘放置架，设置在底板上，托盘放置架包括支撑板，支撑板设置在底板的一侧，支撑板上有水平设置的托盘限位装置，托盘限位装置用于放置托盘，以使托盘可装卸地放置在托盘限位装置上。本发明的托盘载具在使用时，可在SMIF盒内直接取放不同晶圆尺寸的托盘，相对于现有技术的仅能取放固定尺寸的晶圆的晶圆载具，避免了在大气环境中需要人工取放托盘造成的颗粒物污染。

主权项：1.一种托盘载具，其特征在于，包括：底板，其底面用于与SMIF盒内的底座限位固定；托盘放置架，设置在所述底板上，所述托盘放置架包括一位于所述托盘放置架一侧边的支撑板，所述支撑板沿所述底板的一侧单边竖直设置，所述支撑板上连接有水平设置的托盘限位装置，所述托盘限位装置用于放置托盘，以使所述托盘可装卸地放置在所述托盘限位装置上，所述托盘限位装置在所述支撑板竖直面上单向水平延伸设置，所述托盘限位装置在径向方向上不存在双边夹挤限位；所述托盘限位装置包括连接板和限位环，所述限位环顶面设有托盘凸缘，用于与放置的托盘底面凹槽配合限位固定，所述连接板使限位环的位置远离所述支撑板，以提高可放置托盘尺寸裕度。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 南昌中微半导体设备有限公司;中微半导体设备(上海)股份有限公司 托盘载具和SMIF盒装载设备

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