申请/专利权人：常州捷佳创精密机械有限公司

申请日：2023-08-24

公开（公告）日：2024-04-19

公开（公告）号：CN220821485U

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L21/677;B08B3/02;B08B1/20;B08B1/12;B08B1/34;B08B1/40;B08B3/08

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.19#授权

摘要：本实用新型属于硅片清洗技术领域，具体涉及一种硅片清洗机。本硅片清洗机包括：位于第一传送带上的第一清洗机构、位于第一传送带与第二传送带之间的第二清洗机构，以及位于第二传送带上的第三清洗机构；沿插片机传输的硅片依次经第一清洗机构、第二清洗机构，以及第三清洗机构进行清洗处理。本实用新型的硅片清洗机，沿插片机传输的硅片依次经第一清洗机构、第二清洗机构，以及第三清洗机构进行清洗处理，采用链式传送，产能高，易于自动化的实现，减少人工成本，且通过三次清洗，清洗更加充分彻底。

主权项：1.一种硅片清洗机，其特征在于，包括：位于第一传送带上的第一清洗机构、位于第一传送带与第二传送带之间的第二清洗机构，以及位于第二传送带上的第三清洗机构；沿插片机传输的硅片依次经第一清洗机构、第二清洗机构，以及第三清洗机构进行清洗处理。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 常州捷佳创精密机械有限公司 一种硅片清洗机

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