申请/专利权人：中国机械总院集团武汉材料保护研究所有限公司

申请日：2023-09-18

公开（公告）日：2024-04-19

公开（公告）号：CN220812609U

主分类号：C23C16/44

分类号：C23C16/44

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.19#授权

摘要：本实用新型涉及一种CVD反应炉罐，包括罐体，所述罐体内外分别设有若干加筋环，相邻加筋环之间通过纵向筋相连；所述罐体内的加筋环均为刚性加筋环，所述罐体外的加筋环均为韧性加筋环。本实用新型在罐体内外分别设置刚性加筋环和韧性加筋环，利用刚性加筋环抗腐蚀性能和抗压性能优于韧性加筋环特点，通过内外设置避免各自的缺点，使用各自优点，同时内刚外韧增强设置，通过内部刚度抵御负压造成的蠕变，通过外部柔性提高微小变形情况下罐体的稳定性，使得本申请的炉罐寿命远大于单侧增强。本实用新型可以综合解决炉罐在高温和大温度梯度条件下尺寸和结构稳定性问题，提高其可靠性和使用寿命。

主权项：1.一种CVD反应炉罐，包括罐体，其特征在于，所述罐体的内外壁分别设有若干加筋环，相邻加筋环之间通过纵向筋相连；所述罐体内的加筋环均为刚性加筋环，罐体外的加筋环均为韧性加筋环。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国机械总院集团武汉材料保护研究所有限公司 一种CVD反应炉罐

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