申请/专利权人：维耶尔公司

申请日：2022-09-29

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN117941057A

主分类号：H01L21/98

分类号：H01L21/98;B81B7/02;H01L27/14;H01L27/15;H10K50/00;H10K71/00

优先权：["20210929 US 63/249,839"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.26#公开

摘要：本发明涉及使用对准件和匣将微装置集成到系统基材中。本发明涉及使用模板基材中的对准标记转移微装置，使匣与该模板基材对准，根据该模板基材中的分配位置来放置这些匣，以及将这些匣转移到固持基材。

主权项：1.一种用以从模板基材转移微装置的方法，所述方法包括：提供匣；将所述微装置固持在所述模板基材中；使用模板基材中的对准标记来使匣与模板基材对准；当所述微装置面向所述模板基材时，使匣与所述模板基材对准；根据所述模板基材中的分配位置来放置所述匣；以及经由紧靠的固持力将所述匣转移到固持基材。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 维耶尔公司 微装置匣结构

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